ガラス状カーボン
ガラス状カーボン
ガラス状カーボンプレート（AC-140、AC-140S）
特長
- 耐熱性に優れ、高強度
- 耐薬品性・耐腐食性に優れる
- 発塵（炭素紛）がなく、高純度でクリーン
- 溶融ガラス、溶融金属に付着しにくい
- 導電性・熱伝導性を持つ
- 熱膨張が小さく、熱衝撃にも強い
- 高いガスバリヤー性および液体遮断性を持つ
- 気孔のない緻密な等方性組織
特性例
一般物性
| 項目 | 単位 | AC-140(AC140S) |
|---|---|---|
| かさ密度 | Mg/m3 | 1.55 |
| 気孔率 | ％ | 0 |
| 曲げ強さ | MPa | 200 |
| 曲げ弾性率 | GPa | 30 |
| 固有抵抗 | μΩm | 40 |
| 熱膨張係数 | /106k | 2～3.4 |
| 熱伝導率（20℃） | W/mk | 6.2 |
| ショア硬度 | HS | 130 |
| 灰分 | ppm | 50未満（5未満） |
溶出試験（フッ化水素水溶液に浸漬、金属イオン溶出データ）
| 元素 | 溶出液 | ブランク | 元素 | 溶出液 | ブランク |
|---|---|---|---|---|---|
| Na | ＜0.1 | ＜0.1 | Fe | ＜0.1 | ＜0.1 |
| K | ＜0.1 | ＜0.1 | Cr | ＜0.1 | ＜0.1 |
| Mg | ＜0.1 | ＜0.1 | Ni | ＜0.1 | ＜0.1 |
| Ca | ＜0.1 | ＜0.1 | B | ＜0.5 | ＜0.5 |
| Al | ＜0.5 | ＜0.5 |
- 耐薬品性（各種薬液の浸漬における重量変化）
用途例
- 半導体製造装置用部材（エッチング、CVD、スパッタ）
- 炭素膜形成用のターゲット材
- 分析機器の導電性冶具
- ガラス、金属などの溶融冶具
- エレクトロニクス関係ヒーター、サセプター